產(chǎn)品型號: thick8000
產(chǎn)品時間: 2024-01-08
所 在 地: 深圳市寶安區(qū)福永鎮(zhèn)鳳凰第一工業(yè)區(qū)
藝慈 X射線鍍層膜厚儀技術(shù)指標(biāo)
X射線激發(fā)源:5OKV/1000μA-鎢靶X光管及高壓電源
探測器及分辨率:SDD探測器,分辨率140±5eV
分析元素范圍:原子序數(shù)16(S)~92(U)
分析元素及層數(shù):一次可同時分析多達(dá)24種元素及5層鍍層
分析厚度范圍:檢測覆蓋層厚度一般在50μm以內(nèi)
檢出限:鍍層金屬元素厚度薄可達(dá)0.005μm
定位精度:0.001mm
測量時間:10s及以上
樣品平臺移動范圍:120mm×120mm
樣品腔升降平臺移動高度:0~150mm
工作環(huán)境要求
工作電源:交流220±5V
周圍不能有強(qiáng)電磁干擾
環(huán)境溫度要求:15℃~30℃
環(huán)境相對濕度:<70%
藝慈 X射線鍍層膜厚儀性能優(yōu)勢
1.精密的三維移動平臺
2.的樣品觀測系統(tǒng)
3.良好的圖像識別
4.輕松實(shí)現(xiàn)深槽樣品的檢測
5.四種微孔聚焦準(zhǔn)直器,自動切換
6.雙重保護(hù)措施,實(shí)現(xiàn)無縫防撞
7.采用大面積高分辨率探測器,有效降低檢出限,提高測試精度
全自動智能控制方式,一鍵式操作!
開機(jī)自動自檢、復(fù)位;
開蓋自動退出樣品臺,升起Z軸測試平臺,方便放樣;
關(guān)蓋推進(jìn)樣品臺,下降Z軸測試平臺并自動完成對焦;