能量色散X射線熒光光譜儀是利用熒光X射線具有不同能量的特點(diǎn)，將來自試樣的熒光X射線依次檢測，得到一系列幅度與光子能量成正比的脈沖，經(jīng)放大器放大后送到多道脈沖分析器。按脈沖幅度的大小分別統(tǒng)計脈沖數(shù)，脈沖幅度可以用X光子的能量標(biāo)度，從而得到計數(shù)率隨光子能量變化的分布曲線。
能量色散X射線熒光光譜儀的主要優(yōu)點(diǎn)為：
1.無損檢測，對分析樣品的形狀、大小和材料沒有特殊要求，被測樣品在測量前后，無論其化學(xué)成分、質(zhì)量、形狀等都保持不變，且隨著技術(shù)的改進(jìn)，具備了超大的真空樣品室，可滿足大樣品的無損分析。
2.分析速度快，可以預(yù)篩選大量的樣品。一般情況下，檢測一個樣品中的諸元素只需幾分鐘。
3.精度高，準(zhǔn)確度好，相對分析極限可達(dá)百萬分之一級。
4.自動化程度高。
5.探測束斑可調(diào)節(jié)，可以滿足微區(qū)分析。
能量色散X射線熒光光譜儀被測量樣品的要求：
由于技術(shù)特點(diǎn)的差異，需要對被測儀量樣品進(jìn)行簡單的處理；對固體樣品的一般處理方法是將被測量樣品表面打磨光滑，對粉末和其他樣品可以采用磨細(xì)后進(jìn)行粉末壓片法處理，相應(yīng)的設(shè)備市場上很容易找到。
優(yōu)勢在于：可以對樣品不作特別復(fù)雜的處理而直接進(jìn)行測量，對樣品也沒有任何損壞，適合直接用于生產(chǎn)的過程控制中；
但需要強(qiáng)調(diào)指出的是：從熒光理論上，被測量樣品的預(yù)先處理是必須的，對于儀器來說，可以采取一些技術(shù)手段進(jìn)行校正來滿足實際生產(chǎn)控制的需要，但即使采用了技術(shù)校正的手段，對不規(guī)則樣品的直接測量也是以犧牲測量準(zhǔn)確度作為代價的。
