波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀由三個(gè)主要部分組成，分別起激發(fā)、色散和探測(cè)的作用。
一是X射線光管，X射線光管由陰極燈絲和陽極靶組成，燈絲通電流后會(huì)放出熱電子，在陰極燈絲和陽極靶之間加一個(gè)20～60kV的高壓，電子在高壓作用下加速撞擊陽極靶。陽極靶由金屬組成，常用的材料有Rh、Mo、Cr。加速電子撞擊陽極靶，與靶金屬中的電子相互作用并以X射線光子的形式釋放部分能量，這些X射線光子就是激發(fā)源。
二是分光系統(tǒng)，X射線光管產(chǎn)生的X射線激發(fā)源照射到被測(cè)樣品上，激發(fā)出樣品中各個(gè)元素的各條特征譜線，穿過準(zhǔn)直器后以平行光入射到分光晶體上。分光晶體利用X射線的衍射特性，將不同波長(zhǎng)的X射線分開到不同的衍射角度。
三是探測(cè)系統(tǒng)，探測(cè)器接收經(jīng)過分光以后某一波長(zhǎng)的X射線光子，將光子信號(hào)轉(zhuǎn)換為電信號(hào)，獲得強(qiáng)度值。探測(cè)器包括流氣計(jì)數(shù)器（正比計(jì)數(shù)器）和閃爍計(jì)數(shù)器，流氣計(jì)數(shù)器用于探測(cè)輕元素的X射線熒光，閃爍計(jì)數(shù)器用于探測(cè)重元素的X射線熒光。
波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的性能特點(diǎn)：
1.特殊光路系統(tǒng)
采用特殊的光路系統(tǒng)，可滿足不同基體中痕量元素的測(cè)量，提高信噪比，降低檢出限。
2.400W大功率X光源
400W大功率光源使難以激發(fā)的痕量元素獲得更高的計(jì)數(shù)率，比普通EDXRF儀器的元素檢出限降低一個(gè)數(shù)量級(jí)，更加適合痕量元素的檢測(cè)。
3.數(shù)字多道技術(shù)
采用數(shù)字多道技術(shù)，儀器可探測(cè)的計(jì)數(shù)率可高至100kcps,提高了儀器的測(cè)量精度,縮短了測(cè)量時(shí)間。
4.油冷散熱系統(tǒng)
油冷散熱系統(tǒng)，保證了大功率X光源的散熱，使儀器的運(yùn)行更加穩(wěn)定。
5.光閘系統(tǒng)
光閘系統(tǒng)，保證X光源的穩(wěn)定性，同時(shí)提升X光管使用壽命。
6.抽真空系統(tǒng)
抽真空系統(tǒng)，可以滿足輕元素的測(cè)量。
7.自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)
自動(dòng)進(jìn)樣系統(tǒng)，可以一次連續(xù)檢測(cè)十二個(gè)樣品，大大提高了測(cè)試人員的工作效率。
