波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀是利用原級(jí)X射線或其他光子源激發(fā)待測(cè)物質(zhì)中的原子，使之產(chǎn)生熒光（次級(jí)X射線），從而進(jìn)行物質(zhì)成分分析的儀器，主要用于化學(xué)、材料科學(xué)、化學(xué)工程領(lǐng)域。
波長(zhǎng)色散X射線熒光光譜儀的原理：
XRF是基于X射線的一種分析手段，當(dāng)一束高能粒子與原子相互作用時(shí)，如果其能量大于或等于原子某一軌道電子的結(jié)合能，將該軌道電子逐出，形成一個(gè)空穴使原子處于激發(fā)態(tài)，由于激發(fā)態(tài)不穩(wěn)定，外層電子向空穴躍遷使原子恢復(fù)到平衡態(tài)，躍遷時(shí)釋放出的能量以輻射的形式放出便產(chǎn)生X熒光。X熒光具有特征的波長(zhǎng)，對(duì)應(yīng)的即是特征的能量，通過(guò)對(duì)光子的特征波長(zhǎng)進(jìn)行辨識(shí)，XRF能實(shí)現(xiàn)對(duì)元素的定性分析，通過(guò)探測(cè)特征波長(zhǎng)的X射線光子的強(qiáng)度，實(shí)現(xiàn)元素的定量和半定量分析。
具有以下優(yōu)點(diǎn)：
1、分析速度高。測(cè)定用的時(shí)間與測(cè)定精密度有關(guān)，但一般都很短，2～5分鐘就可以測(cè)完樣品中的全部待測(cè)元素。
2、X射線熒光光譜儀跟樣品的化學(xué)結(jié)合狀態(tài)無(wú)關(guān)，而且跟固體、粉末、液體及晶質(zhì)、非晶質(zhì)等物質(zhì)的狀態(tài)也基本上沒(méi)有關(guān)系。大多數(shù)分析元素均可用其進(jìn)行分析，可分析固體、粉末、熔珠、液體等樣品，分析范圍為Be到U。（氣體密封在容器內(nèi)也可分析）但是在高分辨率的精密測(cè)定中卻可看到有波長(zhǎng)變化等現(xiàn)象。特別是在超軟X射線范圍內(nèi)，這種效應(yīng)更為顯著。波長(zhǎng)變化用于化學(xué)位的測(cè)定。
3、非破壞分析。在測(cè)定中不會(huì)引起化學(xué)狀態(tài)的改變，也不會(huì)出現(xiàn)試樣飛散現(xiàn)象。同一試樣可反復(fù)多次測(cè)量，結(jié)果重現(xiàn)性好。
4、X射線熒光分析是一種物理分析方法，所以對(duì)在化學(xué)性質(zhì)上屬同一族的元素也能進(jìn)行分析。
5、分析精密度高。
6、制樣簡(jiǎn)單，固體、粉末、液體樣品等都可以進(jìn)行分析。
