X熒光光譜儀XRF采用兩種分光技術(shù)，一是通過分光晶體對不同波長的X-熒光進行衍射而達到分光目的，然后用探測器探測不同波長處X-熒光強度，這項技術(shù)稱為波長色散光譜。另一項技術(shù)是首先使用探測器接收所有不同能量的X-熒光，通過探測器轉(zhuǎn)變成電脈沖信號，經(jīng)前置放大后，用多道脈沖高度分析器進行信號處理，得到不同能量X-熒光的強度分布譜圖，即能量色散光譜，簡稱X-熒光能譜。
X熒光光譜儀XRF的特征譜線的產(chǎn)生是基于不同的機理：
a）入射X射線轟擊原子的內(nèi)層電子，如果能量大于它的吸收邊，該內(nèi)層電子被驅(qū)逐出整個原子（整個原子處于高能態(tài)，即激發(fā)態(tài)）。
b）較高能級的電子躍遷，補充空穴，整個原子回到低能態(tài)，即基態(tài)。
c）由高能態(tài)轉(zhuǎn)化為低能態(tài)，釋放能量。
d）能量如果以X射線的形式釋放，則會產(chǎn)生X射線熒光。
主要特點：
無需前處理，非破環(huán)性，快速分析。
準確的定性分析；元素測定范圍寬。
定量分析，根據(jù)不同元素。
可以替代傳統(tǒng)的ICP測試方法。
配置新型濾光片，提高Pb、Cd等的靈敏度提高2倍。
配置高計數(shù)率電路，增加檢測器的計數(shù)量，計數(shù)率為3000~12000CPS。
增加時間縮短功能，由熒光X射線強度算出測定精度，自動判斷所需較少測定時間。
增加自動工作曲線選擇功能，依據(jù)識別樣品種類的不同而選擇適宜的工作曲線。
